靈活

這些高真空泵安裝在任何方向都能實(shí)現(xiàn)高性能運(yùn)行，并且可以輕松集成到您的真空系統(tǒng)中。

MAGiNTEGRA 磁懸浮分子泵，體積小，安裝簡(jiǎn)單，能夠產(chǎn)生清潔的高真空和超高真空。

它設(shè)計(jì)靈活，控制器安裝在側(cè)面或底部，采用創(chuàng)新的模塊化工業(yè)通信解決方案，系統(tǒng)集成更容易。

適用于工業(yè)應(yīng)用，比如 PVD、顯示、光學(xué)和建筑玻璃鍍膜。

可靠

TURBOVAC MAGiNTEGRA 對(duì)于氣體具有高抽速和高壓縮比。

對(duì)如下影響不敏感：

• 工藝顆粒和灰塵
• 氣體沖擊。

無油，可確保清潔的高真空和超高真空條件。

它集成了復(fù)合型和經(jīng)典型渦輪轉(zhuǎn)子級(jí)以及板載變頻器和電源。

振動(dòng)低，具有高度的操作可靠性。

運(yùn)行成本低

在大多數(shù)應(yīng)用中免維護(hù)，具有監(jiān)測(cè)和自我保護(hù)功能。